阿爾卡特ADS1202H真空泵維修，ALCATEL ADS1202真空泵維修


Adixen ADP/ADS系列2產(chǎn)品的四種型號(hào)可滿足不同真空要求，環(huán)境清潔的工藝應(yīng)用可選擇LM型，輕型或中型應(yīng)用要求可選擇P型，H型可供苛刻要求的工藝環(huán)境選擇。許多來(lái)自半導(dǎo)體工業(yè)的主要制造商已經(jīng)選擇這一產(chǎn)品，這一選擇使他們大大縮短了計(jì)劃外停工期，從而節(jié)約了運(yùn)行成本，提高了利潤(rùn)率。
ADS1202真空泵特點(diǎn)：
ADS1202處理能力可靠性高
寬交叉槽可容納大量粉塵和顆粒
**而閉合的溫控系統(tǒng)、高操作溫度以及從進(jìn)口到出口的氣體溫度的線性增長(zhǎng)
各級(jí)采取立式抽吸防止吹掃腔中粉塵聚集
ADS 1202H主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造

小巧：ADP/ADS系列2只有約390 mm寬
潔凈：阿爾卡特真空泵無(wú)摩擦無(wú)須油潤(rùn)滑，也就無(wú)粉塵污染的風(fēng)險(xiǎn)。
安靜：阿爾卡特真空泵所有型號(hào)均含一臺(tái)靜音裝置，無(wú)須再安裝外部消聲裝置。
兼容半導(dǎo)體S2

價(jià)廉物美
工作壓強(qiáng)以及極限壓強(qiáng)下低能耗
ADP/ADS系列2運(yùn)行溫低，用水量非常小。
用戶可輕松設(shè)定氮凈化水平，應(yīng)用于清潔環(huán)境無(wú)須凈化。

典型應(yīng)用工藝：
ADP 122 LM, ADS 602 LM
真空進(jìn)片室，傳送室，物**相沉淀，鍍膜
ADP 122 P, ADS 602 P, ADS 1202 P, ADS 1802 P
灰化，玻璃拆封，電介質(zhì)，線蝕刻，注入源，介質(zhì)化學(xué)氣相沉淀
ADS 602 H, ADS 1202 H, ADS 1802 H
等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積，低壓化學(xué)氣相沉淀